MATERIAL | TEHNOLOGIA DE DEPOZIRE | DENSITATE g/cm3 | Sp3% | DURITATE GPa | COEFICIENT DE FRECARE |
DIAMANT | NATURAL | 3.52 | 100 | 100 | 0,02~0,10 |
a-C | SPUTERING | 1,9~2,4 | 25 | 11~24 | 0,10~0,15 |
a-C:H:M | SPUTERING REACTIV | 1,9~2,4 |
| 10~20 | 0,10~0,20 |
a-C:H | SPUTERING RF | 1,57~1,70 |
| 16~40 | 0,02~0,47 |
a-C, a-C:H | RASCĂ DE IONI | 1,8~3,5 |
| 32~75 | 0,06~0,19 |
ta-C | FILTRU MAGNET | 2,8~3,0 | 85~95 | 40~80 | 0,04~0,14 |
Ta-C | PLD | 2.4 | 85~95 | 40~80 | 0,03~0,15 |
NAMI DIAMOND | PLD | 2,9~3,5 | 75 | 80~100 |
|