| MODEL | HY-2225 | HY-2030 | HY-2240 | HY-2245 |
| DIMENSIUNEA CAMERA | Ø2200*2500mm | Ø2000*3000mm | Ø2200*4000mm | Ø2200*4500mm |
| STRUCTURA CAMEREI | Ușă singură verticală, ușă orizontală singură, ușă superioară verticală | |||
| METODA DE ACOPERIRE | Ion cu tehnologie bias | |||
| VACUUM ULTIM | 8,0*10-4Pa (sarcină goală) | |||
| TIMP VACUUM | Sarcina goală din atmosferă la 5.0E-2 mai puțin de 15 min | |||
| MATERIALE DE CONSUM | Titan, crom, zirconiu, fier, titan și aliaj de aluminiu | |||
| CULOARE A ACCESORULUI | translucid, aur, argint, aur roz, negru, verde, albastru, violet, curcubeu, TiN, ZrN, TiAlN, TiC, TiCN, CrN, Al2O3 etc. | |||
| METODA DE CONTROL | Ecran tactil complet automat, semi-automat, manual, PLC | |||
| CERINTE SPECIALE | Personalizat | |||

简体中文














