| MODEL | HY-1214 | HY-1416 | HY-1618 |
| DIMENSIUNEA CAMERA | Ø1200*1400mm | Ø1400*1600mm | Ø1600*1800mm |
| STRUCTURA CAMEREI | Ușă verticală singură | ||
| METODA DE ACOPERIRE | Ion cu tehnologie bias și pulverizare | ||
| VACUUM ULTIM | 8,0*10-4Pa (sarcină goală) | ||
| TIMP VACUUM | Sarcina goală din atmosferă la 5.0E-2 mai puțin de 15 min | ||
| MATERIALE DE CONSUM | Titan, crom, zirconiu, fier, titan și aliaj de aluminiu, toate țintele de pulverizare MF și DC. | ||
| CULOARE A ACCESORULUI | translucid, auriu, argintiu, aur roz, negru, negru închis, verde, albastru, violet, curcubeu, TiN, ZrN, TiAlN, TiC, TiCN, CrN, Al2O3 etc. | ||
| METODA DE CONTROL | Ecran tactil complet automat, semi-automat, manual, PLC | ||
| CERINTE SPECIALE | Personalizat | ||

简体中文



















