Mașină de acoperire în vid prin evaporare și introducere a principiului fizic- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

Evaporare mașină de acoperire în vid și introducerea principiului fizic

Mașina de acoperire cu vid prin evaporare este compusă în principal dintr-o cameră de vid și un sistem de pompare cu vid. Camera de vid conține o sursă de evaporare (adică un încălzitor de evaporare), un substrat și un suport pentru substrat, un încălzitor de substrat, o sursă de alimentare, o barcă de evaporare și o tijă de electrod. Sistemul de vid include pompare brută, pompare intermediară, pompare fină etc., inclusiv pompă mecanică, pompă Roots, pompă de difuzie sau pompă moleculară.

Materialul de acoperire este plasat în sursa de evaporare din camera de vid. În condiții de vid înalt, sursa de evaporare este încălzită pentru a o evapora. Când calea liberă medie a moleculelor de vapori este mai mare decât dimensiunea liniară a camerei de vid, atomii și moleculele vaporilor filmului se vor evapora din sursa de evaporare. După ce suprafața sursei scapă, este rareori ciocnită și împiedicată de alte molecule sau atomi și poate ajunge direct la suprafața substratului de placat. Datorită temperaturii scăzute a substratului, particulele de vapori ale materialului film se condensează pe acesta pentru a forma o peliculă.

Pentru a îmbunătăți aderența dintre moleculele evaporate și substrat, substratul poate fi activat prin încălzire corespunzătoare sau curățare ionică. Procesul fizic de acoperire prin evaporare în vid de la evaporarea materialului, transportul până la depunere și formarea peliculei este următorul:

(1) Folosiți diferite metode pentru a converti alte forme de energie în energie termică, încălziți materialul filmului pentru a se evapora sau a se sublimă și a deveni particule gazoase (atomi, molecule sau grupuri atomice) cu o anumită energie (0,1 ~ 0,3eV):

(2) Particulele gazoase părăsesc suprafața materialului membranei și sunt transportate la suprafața substratului în linie dreaptă cu o viteză de mișcare substanțială fără coliziune;

(3) Particulele gazoase care ajung la suprafața substratului se condensează și se nucleează și cresc într-un film solid;

(4) Atomii care constituie filmul subțire sunt rearanjați sau legați chimic.

Mașina zilnică de acoperire în vid utilizează tehnologia de evaporare pentru a acoperi aluminiu, fluorură de magneziu, aur, argint etc., deoarece au avantajul unui punct de topire scăzut, care este convenabil pentru evaporare și sublimare rapidă.